新材料行业半导体废气处理方法及工艺

随着新材料行业的发展，全国各地新材料行业的规模也日益扩大，新材料的发展对社会起了积极的作用,然而其对生态环境的破坏也是存在的,影响z大的是有机化合物或毒性物质。

新材料行业半导体废气处理方法及工艺

新材料行业与传统材料相比，新材料产业具有技术高度密集，研究与开发投入高，产品的附加值高，生产与市场的国际性强，以及应用范围广，发展前景好等特点，其研发水平及产业化规模已成为衡量一个国家经济，社会发展，科技进步和国防实力的重要标志，世界各国特别是发达国家都十分重视新材料产业的发展。   作为新材料产业的代表之一，半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

半导体企业酸性或碱性废气：酸碱中和处理法。

酸碱废气治理工艺流程为： 风管废气收集→酸性/碱性废气洗涤塔化学洗涤→耐腐蚀风机引风→烟囱排气达标排放 

有机废气治理工艺：直接燃烧法

有机废气治理工艺流程为：  有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放

提示：本网部分已发布的信息内容可能存在过时，请注意辨别。部分内容整理为互联网/转载官方发布，相关信息仅为传递更多信息之目的，不代表本网观点，不拥有所有权。如有侵权联系删除。